Contaminazione dei wafer dovuta al degasaggio del grasso

[Kaylin]

Sto utilizzando un attuatore rotativo cavo in una camera bianca per semiconduttori. Di recente sono stati rilevati contaminanti organici sulle superfici dei wafer e sospetto che la causa sia il degasaggio del grasso all'interno dell'attuatore.

Dopo lo smontaggio, ho riscontrato una leggera separazione dell'olio nel grasso e la formazione di una pellicola oleosa sulla parete interna del foro passante. La camera bianca opera secondo gli standard ISO Classe 3 ed è estremamente sensibile ai composti organici volatili (VOC).

Sono passato a un grasso per vuoto a bassa volatilità; sebbene la situazione sia migliorata, si verificano ancora tracce di degasaggio. Vorrei chiedere: quali requisiti deve soddisfare il grasso per un attuatore rotativo cavo destinato all'uso in camera bianca?

Esistono soluzioni che prevedono una lubrificazione completamente a secco o cuscinetti in ceramica? Oppure è necessario installare l'attuatore all'esterno della camera bianca e utilizzare un giunto magnetico per la trasmissione?

Qualsiasi consiglio o suggerimento sarebbe molto apprezzato.